性能和規(guī)格
外形尺寸
應(yīng)用領(lǐng)域
- 半導(dǎo)體和平板顯示器制造
- LED制造
- 鍍膜設(shè)備
- 制冷設(shè)備和空調(diào)的元件及部件
- 低溫壓力容器
- 閥門氣密性
- 撿漏航空部件,配件及系統(tǒng)
在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學(xué)應(yīng)用中,TMP的性能必須滿足嚴(yán)格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵,高度為195毫米,帶有一體式控制器,可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級(jí)壓力以支持隔膜泵等小型前級(jí)泵。
此外,本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板,在約280 L/s的抽速下,僅以180 W的低功耗工作。
1179A01312CR1BV-K [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 1179A01312CR1BV-K,氣體:N2,范圍:100SCCM,類型:VCR,D-SUB 15P
1479A01353CR1BM [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 1479A01353CR1BM,氣體:N2,范圍:5SLM,類型:VCR
649A12T51CAVR-S [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL 649A-14943S [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013 P8A-26808 [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR DLT2A2231A1P210 [ MKS ] 質(zhì)量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P
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在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學(xué)應(yīng)用中,TMP的性能必須滿足嚴(yán)格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵,高度為195毫米,帶有一體式控制器,可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級(jí)壓力以支持隔膜泵等小型前級(jí)泵。
此外,本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板,在約280 L/s的抽速下,僅以180 W的低功耗工作。






















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