ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door);密封件;以及ESC(包括ESC 翻 新
延長了使用壽命
加熱元件的發(fā)熱越有效,需要對(duì)它們進(jìn)行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠熱輸出的涂層工藝。
鎢基層具有高孔隙率的
- 鉬(熔點(diǎn):2620°C)和鎢(熔點(diǎn):3420°C)均是難熔金屬,高熔點(diǎn)使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。
- 耐腐蝕:
鉬和鎢在各種環(huán)境中都具有耐腐蝕性,甚至在溫度下也是如此:
| 鉬 | 鎢 | |
| 氨氣 |
- 在操作過程中,反應(yīng)室部件中的雜質(zhì)也可能污染半導(dǎo)體。要保證半導(dǎo)體的質(zhì)量和 LED 或晶體管的效率,我們的材料必須無雜質(zhì)。我們保證材料純度高于 99.97%。
- 蒸氣壓低:
























台东市|
太康县|
竹北市|
清远市|
岳池县|
柏乡县|
无为县|
天津市|
肇源县|
新密市|
抚顺县|
山阴县|
英超|
大荔县|
巩留县|
夏河县|
乌审旗|
佛学|
建水县|
六盘水市|
安宁市|
伊川县|
芷江|
阳西县|
江都市|
二手房|
博罗县|
江源县|
临湘市|
鄂伦春自治旗|
南召县|
阿巴嘎旗|
勐海县|
静海县|
连江县|
丹棱县|
时尚|
景德镇市|
榆林市|
昭苏县|
苗栗市|