產品介紹
所屬系列:CMR364 系列。
測量范圍:滿量程為 1hPa(1mbar/750mTorr),zui小測量值為 10??mbar(7.5×10?2mTorr)。
精度:測量值的 ±0.2%。
響應時間:30ms。
傳感器類型:采用陶瓷氧化鋁電容傳感器元件,可測量氣體的壓力,且與氣體類型或成分無關,無需查找表格和進行 氣體轉換計算。
連接方式:配備 KF16 法蘭。
兼容性:與 TPG361、TPG362 和 TPG366 普發(fā)真空計控 制 器兼容,需要搭配傳感器電纜使用,電纜長度有 3 米至 10 米可選。
輸出信號:通常為模擬信號輸出,可與多種控制系統(tǒng)連接,具體輸出信號類型可根據配套的控 制 器等設備確定。
工作環(huán)境:一般可在溫度 + 5℃至 + 55℃的環(huán)境中工作




















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