功能特性:
技術(shù)成熟可靠
核心部件均為
配比精度高,響應時間段
模塊化設計
HMI觸摸屏,操作簡便
內(nèi)置MFC標定校準程序
技術(shù)特性:
質(zhì)量流量計準確度:<1%F.S
質(zhì)量流量計重復性:<0.25%F.S
零氣流量:10sl/min
標氣流量:100sml/min
標氣入口:3通道
臭氧發(fā)生器輸出濃度:5ppm/1slpm
操作溫度:0-45攝氏度
*大稀釋比:1000:1
響應時間:60s
電源:220VAC@50Hz
尺寸:440mm(寬)*178mm(高*420mm(深)(參考)
標準配置:主機一套、電源線一根、說明書一份




















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