FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡介:
FS1015系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)院用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。
產(chǎn)品特點:
的流量計量需求而設(shè)計
高靈敏度,應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計原理可測量 低至8mm/sec的流體流量
無旁通結(jié)構(gòu),低壓損
傳感器的零點穩(wěn)定度高
經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用
自動轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計提高了測量精度
主機設(shè)備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出
FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器參數(shù):
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品 | FS1015CL | 單位 |
流量范圍 | 0~150 | SLPM |
精度 | ±(1.5±0.1FS) | % |
重復(fù)性 | ±0.75 | % |
響應(yīng)時間 | 10(Max.) | msec |
工作電壓 | 5±1% | Vdc |
輸出方式 | 線性,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
大壓損 | 500 | Pa |
大工作壓力 | 0.2 | MPa |
工作溫度 | -10~55 | oC |
儲存溫度 | -20~65 | oC |
工作濕度 | <95(無結(jié)冰、無凝露) | %RH |
機械接口 | ISO-15 |




















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