產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度:優(yōu)于0.5%
高量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體,并存儲(chǔ)20種混合氣
性能指標(biāo)
量程0-0.5 SCCM —— 0-5000 SLPM
量程比200 :1
介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考背面氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
精度 ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)
高精度±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程),選配
僅適用于量程為5 SCCM-500 SLPM的設(shè)備
可控流量02.4 %滿量程
顯示示屏帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
量程0-0.5 SCCM —— 0-5000 SLPM
量程比200 :1
介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考背面氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
精度 ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)
高精度±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程),選配
僅適用于量程為5 SCCM-500 SLPM的設(shè)備
可控流量02.4 %滿量程
顯示示屏帶按鍵,標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
選項(xiàng)配件
數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制,如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式:數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度:優(yōu)于0.5%
高量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體,并存儲(chǔ)20種混合氣




















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