產(chǎn)品特點(diǎn)
? 采用隔膜式的全金屬密封MFC,經(jīng)過EP以及氧化覆膜處理,可以兼容腐蝕性介質(zhì)
? 帶顯示屏
? PI壓力不敏感設(shè)計(jì)
? 數(shù)字通訊:DeviceNet通信對(duì)應(yīng)
? 可選IGS W型密封圈接頭
? 響應(yīng)時(shí)間快:<1秒
? 高精度:精度±1.0%SP(>10%FS);±0.1%FS(≤10%FS)
? 量程可切換:支持修改滿量程的30~110%
? 泄漏率低至<1.0x10-11pa*m3/sec(He)
技術(shù)參數(shù)
傳感器類型 | 熱式繞線型 | ||
閥 門 | 電磁比例閥(斷電時(shí)關(guān)閉) | ||
適用氣體※1 | 干燥的兼容性氣體 | ||
量 程※2 | 10、30、50、100、300、500SCCM, 1、3、5、10 SLPM | 30 SLPM | |
控制范圍 | 2~99%FS | ||
響應(yīng)時(shí)間 | <1s | ||
精 度 | ±1%SP(10~99%FS);±0.1%FS(2~10%FS) | ||
重 復(fù) 性 | ± 0.2%FS | ||
動(dòng)作壓差 | L型 | 50~149 KPa | 50~199 KPa |
H型 | 150~300 KPa | 200~300 KPa | |
入口壓力 | 300KPa(G) | ||
耐壓 | 1MPa(G) | ||
PI功能※3 | 過沖流量≤±2%FS | ||
外部泄漏率 | <1.0x10-11pa*m3/sec(He) | ||
溫度 | 允許環(huán)境溫度 | 5~50 ℃ | |
精度保證溫度 | 15~40 ℃ | ||
允許保存溫度 | 0~60 ℃ | ||
允許環(huán)境濕度 | 0~80%RH(未冷凝) | ||
接液材質(zhì) | 316L、PTFE、Au、Co-Ni | ||
密封材料 | SUS316L、Au | ||
電氣連接 DeviceNet® | M12型5芯接頭 | ||
數(shù)字通訊 | DeviceNet® | ||
所需電源 | 11-25VDC,(5VA max) | ||
過程接口 | 1.125"W型92 mm或1/4"VCRM | ||
安裝方向 | 建議水平方向 | ||
重 量 | 約1000 g | ||
顯 示 | 4位顯示屏 | ||
注:
※1:沒有記載的氣體換算成N2, 細(xì)則請(qǐng)另外聯(lián)系銷售人員。
※2:流量校準(zhǔn)單位SCCM、SLPM分別表示在0℃,1atm 時(shí)的體積流量。
※3: PI功能指標(biāo)表示供給壓力在±3PSI范圍變動(dòng)時(shí),瞬時(shí)流量在5~99%FS設(shè)定值范圍內(nèi)的變化值不會(huì)超過±2%FS。
尺寸詳圖

















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