真空分子泵
特點(diǎn)
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi)((10-6~1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比,大大提高了泵的出口壓力。
復(fù)合式分子泵的形式很多,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級(jí)數(shù)在l0級(jí)以?xún)?nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。
盤(pán)式牽引級(jí)是在平板圓盤(pán)平面上按一定規(guī)律開(kāi)出數(shù)條型線(xiàn)溝槽,然后將數(shù)塊圓盤(pán)串接起來(lái)構(gòu)成,型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對(duì)數(shù)螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤(pán)對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”,使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng),從而達(dá)到抽氣目的。
真空分子泵
分子泵組是分子泵與前級(jí)泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6~大氣) 工作。
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為:
1.牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅(qū)送到泵的出口。
2.渦輪分子泵靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3.復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。
























乌拉特前旗|
宜良县|
庆阳市|
黄大仙区|
开封市|
西盟|
休宁县|
泸西县|
赫章县|
阿图什市|
保亭|
衡水市|
罗定市|
山东省|
乌什县|
宣威市|
呼伦贝尔市|
铜鼓县|
黄大仙区|
赣州市|
万载县|
临湘市|
大宁县|
阿尔山市|
宜阳县|
常德市|
获嘉县|
连州市|
蒙自县|
裕民县|
德化县|
庐江县|
衢州市|
乐安县|
河西区|
定襄县|
平顶山市|
广州市|
通榆县|
延川县|
广安市|