真空分子泵

　　特點

　　復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合，集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內((10-6～1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。

　　復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數在l0級以內。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。

　　盤式牽引級是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數條型線溝槽，然后將數塊圓盤串接起來構成，型線有阿基米德螺線、對數螺線、圓弧線等。抽氣時靠高速轉動的圓盤對氣體分子進行“拖動”，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動，從而達到抽氣目的。

真空分子泵

　　分子泵組是分子泵與前級泵的串聯組合，集兩種泵的優(yōu)點于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6～大氣) 工作。

　　分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：

　　1.牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

　　2.渦輪分子泵靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

　　3.復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。