等離子表面處理器的等離子體是有別于固體、液體和氣體的第四類物質(zhì)形態(tài)，它由電離的導(dǎo)電氣體組成，包括正離子、負(fù)離子、電子、激發(fā)態(tài)的分子或原子、基態(tài)的分子或原子以及光子這六種典型的粒子。