CCD型電動超高真空插板閥是通過電動裝置驅(qū)動閥桿帶動閥板作上下運(yùn)動，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。CCQ型氣動超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動閥板作上下運(yùn)動，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。