HMDS預(yù)處理高溫烘箱產(chǎn)品用途:該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角