敏感材料：是傳感技術(shù)發(fā)展的物質(zhì)基礎(chǔ)；此外，傳感器的加工技術(shù)也是傳感技術(shù)*的組成部分，現(xiàn)代的微細(xì)加工技術(shù)、光學(xué)刻劃技術(shù)、光學(xué)鍍磨技術(shù)、擴散及各向異性腐蝕技術(shù)等新型加工方法的引入，使傳感器的加工上了一個大