氣相法二氧化硅包裝機(jī)、氣相法白炭黑包裝機(jī)組成部分：真空泵、負(fù)壓灌、真空室、袋濾器、內(nèi)腔模具、稱重系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空比例閥控制系統(tǒng)等。