精度高，光斑小，不接觸加工，當(dāng)工件表面有其他干涉物時(shí)，同樣易于加工,局部加熱，熱影響區(qū)小，無(wú)靜電危險(xiǎn),清潔加工方法，維護(hù)簡(jiǎn)單，易于操作。穩(wěn)定，重復(fù)性強(qiáng)