脈沖激光沉積腔體系統(tǒng)（PLD系統(tǒng)）是一個(gè)基于不銹鋼圓形腔室的真空設(shè)備。該腔室多個(gè)法蘭口可安裝實(shí)驗(yàn)配件，包括RHEED、發(fā)射光譜、高溫測定、薄膜沉積晶振等，實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜生長速率的控制。該設(shè)備主要包括真空系統(tǒng)、磁耦