該系統(tǒng)可以在超高真空條件下開展薄膜相關(guān)的掠入射X射線譜學(xué)實(shí)驗(yàn)。該系統(tǒng)配備有樣品中轉(zhuǎn)存放臺(tái)，樣品可以在不暴露大氣的情況下，利用真空手提箱或者真空進(jìn)樣腔室傳遞到樣品中轉(zhuǎn)存放臺(tái)上。在測(cè)試室對(duì)薄膜樣品進(jìn)行掠入