193nm激光器準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品特點：全部實現(xiàn)風(fēng)冷，無需水冷；結(jié)構(gòu)緊湊，脈沖頻率高，Z高重復(fù)頻率到1kHz；全新技術(shù)金屬-陶瓷腔體；光束均勻性好集成的真空泵和鹵素濾光片激光頭體積3L提供能量穩(wěn)定模式，保證能量穩(wěn)