MEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析，實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)的顯微鏡實(shí)現(xiàn)*結(jié)合，標(biāo)準(zhǔn)分析口徑大小為15微米和18微米(Z小可做到4微米)，可在室溫大氣環(huán)境中測試，也可在特定的環(huán)境中測試。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、面