M010系列數(shù)顯型小型流量氣體質(zhì)量流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后