自動(dòng)化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是德高潔獨(dú)立自主研發(fā)，其工作原理是以水力自驅(qū)動(dòng)三維自動(dòng)旋轉(zhuǎn)噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫