柔性封裝機(jī)器人柔性封裝機(jī)器人是專用的自動封裝設(shè)備，主要針對MEMS（MicroElectroMechanicalsystems的縮寫，即微電子機(jī)械系統(tǒng)）應(yīng)用于小批量、多品種傳感器的自動封裝而研制開發(fā)，可針對各傳感器特點(diǎn)，通過夾具的柔