主動(dòng)隔振光學(xué)平臺-主動(dòng)隔振臺-主動(dòng)式除振平臺-HerzAVI200系列是一款緊湊型、模塊化的六自由度隔振系統(tǒng)，用于抵消工作環(huán)境對靈敏度高的精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動(dòng)，以提高精密設(shè)備的性能，具有的性能及通用性。該隔振