通過(guò)使用新型的ATEXVARIO?化學(xué)隔膜泵和化學(xué)真空系統(tǒng)，真空度可以精準(zhǔn)地通過(guò)電機(jī)速度調(diào)控。VARIO?真空泵可以通過(guò)一條額外的控制信號(hào)線進(jìn)行驅(qū)動(dòng)?？蛇x的CVC3000控制器及系統(tǒng)附件（I/O-模塊,供應(yīng)/隔離放大器）和ATEX傳