面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游的原材料生產(chǎn)企業(yè)，采用獨(dú)立開(kāi)發(fā)的光譜共焦測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)半導(dǎo)體原片、外延片的尺寸和平面度進(jìn)行檢測(cè)。重復(fù)精度±0.1μm檢測(cè)厚度±1mm整機(jī)尺寸（mm）1800*1300*2250