μ-FLOW質(zhì)量流量控制器是專門為超低流量范圍所設(shè)計(jì)的。該款設(shè)備是利用熱量、直通流的測(cè)量原理來操作的。流量測(cè)量?jī)x可以與控制閥相連接，從而形成一個(gè)閉環(huán)控制路。