紅外厚度測量儀采用光學(xué)干涉原理、非接觸測量折射率較大或者厚度較大的樣品，比如硅晶圓、鈮酸鋰、鉭酸鋰等，測量分辨率達(dá)到納米量級(jí)。該儀器具有測量迅速、操作簡單、結(jié)果穩(wěn)定、用戶使用界面易于操作等特點(diǎn)，是目前