氮?dú)獍l(fā)生器參數(shù)：1、氮?dú)饬髁俊?5L/min,零級(jí)空流量≥50L/min2、氮?dú)饧兌龋骸?9.9%3、輸出壓力：105psi，可任意調(diào)節(jié)4、無(wú)液滴殘留、無(wú)鄰苯二甲酸酯類(lèi)化合物殘留、顆粒物小于0.01um、壓力露點(diǎn)＜－40℃5、噪音級(jí)；58分