鑒于其的生產(chǎn)加工原理和生產(chǎn)加工設(shè)備，對(duì)環(huán)境元素的規(guī)定不高，可以達(dá)到納米技術(shù)甚至原子規(guī)模的生產(chǎn)加工，長期以來已成為超精密加工技術(shù)的重要組成部分