用途以及應(yīng)用行業(yè)：1、硅片、石英晶片、光學(xué)晶體、寶石、手機(jī)玻璃、水晶玻璃、視窗玻璃、鈮酸鋰、砷化鎵、陶瓷等薄脆金屬或非金屬的精密平面研磨或拋光；2、各種電子、光學(xué)材料的精密平面拋光；3、超薄、硬脆性材料