ZYY-ZD系列氣浮式主動(dòng)減振，針對(duì)掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設(shè)備而研發(fā),采用型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振，即使在安裝現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動(dòng)時(shí)，也能確保持續(xù)的振動(dòng)穩(wěn)定性,甄耀言科技自研的主動(dòng)減