儀器特點：l三軸均采用中國臺灣高精度型直線導(dǎo)軌、精密級滾珠絲桿傳動，噪音低振動小，動態(tài)幾何誤差變形最??；l采用優(yōu)質(zhì)花崗巖大理石底座、橫梁，具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗實效變形能力。l有限元結(jié)構(gòu)分析及優(yōu)化結(jié)構(gòu)