三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌不會受磨損，三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺。各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動，確保運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確。X向采用精密三角梁技術(shù)，相比矩形橫梁，質(zhì)量剛性比，運動