◆MFC是由質(zhì)量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大控制電路組成，采用數(shù)字信號(hào)輸入輸出，具有預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高等特點(diǎn)?！魺崾皆恚憫?yīng)快，精度高◆管狀分流，不易堵塞◆適用于各種低壓和