主要是用調(diào)節(jié)多達(dá)十幾種氣體的濃度值和流量。SSGM系列的產(chǎn)品采用了高精度的質(zhì)量流量控制器，與穩(wěn)定的自動(dòng)化控制技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)自動(dòng)計(jì)算和控制。結(jié)合產(chǎn)品的實(shí)際運(yùn)用情況，采用機(jī)械與電氣分離工藝，整套裝置集成