高壓型小量程氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)AC-S030HC/M主要應(yīng)用在量程范圍從10SCCM--30SLM之間氣體流量的測量和控制，產(chǎn)品耐壓能達(dá)10Mpa，采用新型傳感制作工藝，具有響應(yīng)速度快、準(zhǔn)確度高、流量控制穩(wěn)定、耐壓高、線性