F1815系列泰克斯壓力傳感器

描述：200kg量程壓式結構微型測力傳感器

特點/ Features

• 微型傳感器，外形小巧

• 不銹鋼材料

• 可定制， IP66

用途 / Applications

適用于各種小空間的測力，廣泛應用于工業(yè)、研發(fā)等領域的測量和控制

傳統(tǒng)的電阻應變式壓力傳感器的電阻敏感柵是刻錄在一層絕緣脂薄膜上，而薄膜又通過粘結劑粘合到彈性基片上，由于彈性元件與粘結劑及絕緣脂膜之間的彈性模量不同，彈性元件的應變不能直接傳遞給敏感柵，而是要通過粘結劑、絕緣脂膜才能到達敏感柵，從而產生較大的蠕變和滯后，影響傳感器的靈敏度、響應度、線性度等性能。另外，由于粘結劑不能在高溫條件下使用，這也使它的應用范圍受到限制。  為了消除絕緣薄膜層和粘結劑層對傳感器性能的影響，本文嘗試采用真空鍍膜方法及光刻技術，在彈性元件上直接刻錄敏感柵，彈性元件與敏感柵直接接觸，以克服常規(guī)工藝導致的滯后和蠕變大的缺陷。另外，如果彈性材料和結構選擇恰當，還可制成耐高溫、耐腐蝕的全隔膜式薄膜壓力傳感器。