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上海爾迪儀器科技有限公司


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Special plasma system Tetra 15 LF-PC

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Special plasma system Tetra 15 LF-PC

詳細(xì)介紹

Special plasma system Tetra 15 LF-PC

Theplasma system Tetra 15 is designed for sputtering (high vacuumbased coatingtechnology), as well as for the purification processes in the preparation ofhighly pure surfaces.

Technical data:

Switch cabinet:
W 600 mm, H 1700 mm, D 800 mm

Chamber:
W 360 mm, H 150 mm, D 260 mm

Chamber volume:
approx. 15 litres

Gas supply:
2 gas channels via MFCs

Generator:
2 pieces (each 40 kHz)
(optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)

Control
PC control (Windows) with industrial field bus


關(guān)鍵詞：PC PCT
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