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Diener Plasma 研究設(shè)備Bell Jar 35 等離子系統(tǒng)

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上海爾迪儀器科技有限公司

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Diener Plasma 研究設(shè)備Bell Jar 35 等離子系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

研究設(shè)備：Bell Jar 35 等離子系統(tǒng)

Bell Jar 35 鐘罩運(yùn)行中

Bell Jar 35 研究設(shè)備

Bell Jar 35 等離子設(shè)備是一種研究設(shè)備，其專為科學(xué)試驗(yàn)所研發(fā)。該設(shè)備即適用于熱蒸發(fā)、濺射、電子束蒸發(fā)、SEM（掃描電子顯微鏡）樣品制備的金屬涂層，也適用于傳統(tǒng)的等離子體工藝。

基本設(shè)備

外殼約寬 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
腔室容積：約 35 升
供電電源： 230 V / 16 A

氣源

3 個(gè)質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩
∅ 315 mm x 高 500 mm

濺射源

1 個(gè)濺射源 2" - 3" + 擋板
（可為反應(yīng)過程選配排煙管和進(jìn)氣口）

基材支架

∅ 140 mm （可選擇旋轉(zhuǎn)型、基材加熱器、基材冷卻裝置）
可切換為等離子體預(yù)處理的電極（清洗、活化、蝕刻）

控制系統(tǒng)

PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows XPe)

壓力測(cè)量

Pirani

發(fā)生器

頻率：	40 kHz: 功率 0 - 500 W
	13.56 MHz: 功率 0 - 300 W

直流偏置電源或單極性脈沖

功率 300 W
電壓 600 V，直流電

發(fā)生器為 0 - 99% 無級(jí)可調(diào)型

真空泵

規(guī)格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。

關(guān)鍵詞：電子顯微鏡控制器 PC 真空泵

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