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OLS4100 3D 測量激光顯微鏡

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OLS4100 3D 測量激光顯微鏡——以接近納米級的高分辨率進行 3D 觀察與和測量的激光顯微鏡。

詳細介紹

OLS4100 3D 測量激光顯微鏡——以接近納米級的高分辨率進行 3D 觀察與和測量的激光顯微鏡。

可以更簡便、更快速、更大范圍地獲得圖像。

具備智能掃描功能，任何人都可以一鍵完成過去只有熟練操作人員才能進行的獲取 3D 圖像操作。

通過使用方便、高速的圖像拼接功能，可在更大的范圍內(nèi)進行高精度的測量。

● 綜合倍率：108X~17,280X

● 測量項目：高度測量、長度測量、線粗糙度測量、面粗糙度測量、粒子分析、邊緣自動識別、膜厚測量。

● 分辨率：0.12µm（平面）、0.01µm（高度）

● 重復(fù)性（平面）：3σ n-1 =0.02µm，重復(fù)性（高度）：σ n-1 =0.012µm

● 準(zhǔn)確度（平面）：測量值的 ±2% 以內(nèi)，準(zhǔn)確度（高度）：0.2+L/100µm 以下（L= 測量長度 µm）

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