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帶0.1μm/0.4μm分辨力/重復(fù)精度的指示精度可達(dá)(1.1+0.6/600)um；
●帶0.1μm/0.4μm分辨力/重復(fù)精度的指示精度可達(dá)(1.1+0.6/600)um； ● 氣體全浮/半浮系統(tǒng)可以進(jìn)行浮動(dòng)高度調(diào)整； ●高精度測(cè)高儀加入了廣泛的測(cè)量功能。 ●配有基本的統(tǒng)計(jì)功能，另外，RS-232C數(shù)據(jù)輸出可通過(guò)連接計(jì)算機(jī)上的SPC軟件，進(jìn)行外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估(可選)； ●為了達(dá)到精度，使用高精度反射性線性編碼器和高精度導(dǎo)軌； ●測(cè)量可以通過(guò)圖標(biāo)命令來(lái)執(zhí)行，同時(shí)，也支持一鍵操作，保證正面的垂直度為5μm，直線度為4μm； ● 數(shù)據(jù)備份恢復(fù)，測(cè)量工件程序可通過(guò)USB存儲(chǔ)設(shè)備來(lái)執(zhí)行(FAT16/32兼容格式)； ●使用TFT液晶顯示屏，以達(dá)到可視性和可操作性。
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