頻率穩(wěn)定性

<0.01%<>

輸出功率

800－1500w

輸出功率穩(wěn)定性

≤0.1%

電磁場泄漏射強度

距機身30cm

電場強度E

<1v>

磁場強度H

<0.2a<>

同軸型噴霧器外徑

6mm

雙筒形霧室外徑

35mm

氬氣流量計規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格

等離子氣流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

輔助氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

載氣流量計（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min)

載氣穩(wěn)壓閥（0-0.6M Pa）

光電倍增管負高壓

200-1000V  

穩(wěn)定性<0.05%<>

光電倍增管電流測量范圍

10-12 -10-4A

光柵規(guī)格

離子刻蝕全息光柵

刻線密度

3600線/mm

分辨率

≤0.008nm

刻線面積

80×110mm

示值誤差

≤±0.03nm

波長范圍

180-500   nm

透鏡

ф30，1：1成像

入射狹縫

20μm

發(fā)射鏡規(guī)格

（78× 105 × 16）mm

出射狹縫

20μm

步進電機驅(qū)動最小步距

0.0005nm