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Stripe CDG045Dhs 高速電容式隔膜真空計

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產品簡介

Stripe CDG045Dhs 高速電容式隔膜真空計

詳細介紹

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000乇 / 毫巴, 新 10毫乇

?INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是速、高度準確的真空儀器。響應時間不到 2
ms，配備 EtherCAT
現場總線接口，開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附
INFICON 已獲的傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品的影響。INFICON Stripe
使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和的速度性能，可實現的生產力提升，使其成為同類產品中的真空儀器。

Stripe CDG045Dhs 贏得了 2014 研發(fā) 100
大獎??！

益處

高生產力 - 響應時間快于 2ms
靈活集成 - EtherCAT 現場總線
使用壽命長 - 經驗證的陶瓷傳感器
忘記重新校準 - 90ppm/年穩(wěn)定性

典型應用

原子層沉積
高速過程控制
PVD、CVD、刻蝕
一般高溫真空應用

零件號

規(guī)格

類型		1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar	0.02 ... 0.01Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.15	-
精度	% of reading	-	0.2
溫度效應
零點	percent FS/°C	0.0025	-
在零點 0.5 ... 0.05 乇/毫巴	percent FS/°C	0.005	-
在零點 0.02 ... 0.01 乇	percent FS/°C	-	0.01
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01
壓強
P 1000乇/毫巴	kPa (absolute)	400	400
P 500 ... 1乇/毫巴	kPa (absolute)	260	260
P 0.5 ... 0.01乇/毫巴	kPa (absolute)	130	130
分辨率	percent FS	0.003	0.003
讀數	percent FS	0.01	0.01
建議的讀數	percent FS	0.05	0.05
建議的控制壓力	percent FS	0.5	0.5
溫度
運行（環(huán)境）	°C	+10 … +40	+10 … +40
在法蘭處烘烤	°C	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +85	–20 … +85
電源電壓		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時	W	≤14	≤14
運行溫度	W	≤9	≤9
輸出信號（模擬）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
反應時間 (2)	ms	2
保護等級		IP 30	IP 30
標準
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)		SEMI S2	SEMI S2
電氣連接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
設定點
設定點數量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
繼電器觸點	V (dc)A (dc)	≤30	≤30
滯后	percent FS	1	1
診斷端口
協議		USB	USB
讀數		pressure, status, ID	pressure, status, ID
設置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁴⁾)
內部容積
內部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
內部容積 8 VCR®	cm3 (in.3)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管	g	837	837
重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
重量 DN 16 CF-R	g	875	875
重量 8 VCR®	g	897	897

EtherCAT
協議 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數字功能讀取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
數字功能設置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過程數據		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)