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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡(jiǎn)稱,中文名稱為阿斯麥(中國(guó)大陸)、艾司摩爾(中國(guó)臺(tái)灣)。艾司摩爾(ASML)為半導(dǎo)體設(shè)備供貨商,成立于1984年,是從荷商飛利浦分割出來獨(dú)立的半導(dǎo)體設(shè)備公司,總部設(shè)立于荷蘭的Veldhoven。
ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù),TWINSCAN系列,應(yīng)用廣泛的光刻機(jī)型。目前絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商,都向ASML采購TWINSCAN機(jī)型,例如英特爾(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),臺(tái)積電(TSMC),中芯國(guó)際(SMIC)等。
ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源為高壓汞燈光源,現(xiàn)已停產(chǎn),AT系列屬于老型號(hào),多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場(chǎng)上主力機(jī)種是XT系列以及NXT系列,為ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的機(jī)型,分為干式和沉浸式兩種,而NXT系列則是現(xiàn)在主推的機(jī)型,全部為沉浸式。






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