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OSAKA TG1130EMVA TURBO PUMP分子泵

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性能泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為

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性能

泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為10⁸～10⁹；對氫為10²～10⁴；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于10¹⁰。

泵的極限壓力為10^-9Pa，工作壓力范圍為10^-1～10^-8Pa，為幾十到幾千升每秒（1L=10^-3m³）。

渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的性，因此要求配有工作壓力為1～10^-2Pa的前級真空泵。

本身由轉速為10000～60000轉/分的直聯(lián)驅動。

特點

抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單

工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空

極限真空：10^-6/ 10^-10torr

缺點：結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高

關鍵詞：真空泵

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