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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
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更新時間：2026-08-14 11:24:00瀏覽次數(shù)：21次
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Shimadzu島津TMP-3304LM磁懸浮分子泵銷售，離子注入真空設備泵保養(yǎng)
而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預計可用于下一代450 nmm半導體晶圓加工。
島津制作所半導體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的。"“島津TMP在的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設計和技術(shù)支持的歷史。"
事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機設計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了建模技術(shù)來模擬TMP性能。"“我們所有的商用TMP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式，我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。"
在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。
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