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Exchang Repair 注入機(jī) FILAMENT P.S電源

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Debbbbbbion注入機(jī) FILAMENT P.S電源

Aviza/SPTS Omega ICP etcher configuration inbbbbation:

1.Configured for 8'' wafer

2.automatic wafer handling

3.Cl2 based etching process

4.3 process modules

5.Inspected by SPTS OEM engineer

6.Missing 1x Mag7 robot

7.Missing 1x VCE B controller

8.Missing 1x 24V DC Power supply

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ETCH主要產(chǎn)品涉及金屬加工件chamber Linear/heater/slit door）；密封件；以及ESC（包括ESC 翻新

延長(zhǎng)了使用壽命

加熱元件的發(fā)熱越有效，需要對(duì)它們進(jìn)行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠熱輸出的涂層工藝。

鎢基層具有高孔隙率的

鉬（熔點(diǎn)：2620°C）和鎢（熔點(diǎn)：3420°C）均是難熔金屬，高熔點(diǎn)使它們非常適合用于諸如 MOCVD 和 MBE 之類的高溫工藝。

耐腐蝕：
鉬和鎢在各種環(huán)境中都具有耐腐蝕性，甚至在溫度下也是如此：

	鉬	鎢
氨氣

在操作過程中，反應(yīng)室部件中的雜質(zhì)也可能污染半導(dǎo)體。要保證半導(dǎo)體的質(zhì)量和 LED 或晶體管的效率，我們的材料必須無雜質(zhì)。我們保證材料純度高于 99.97%。
蒸氣壓低：

關(guān)鍵詞：密封件

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