簡易型微量金屬污染物質回收裝置（SC系列）

與電腦連接，制作多樣化的回收圖案，從硅芯片的表面和側面（斜面部）回收（取樣）微量金屬污染。

●由于不需要太多的外部資源，也不占用任何空間，因此設備的部署非常簡單。

●由于是機械作業(yè)，因此不需要操作人員熟練，任何人都可以輕松取樣。

●由于裝置側自動實施采樣用藥液的供給和保持具的移動，因此與SC-2000相比，可減少作業(yè)人員造成的污染。

●由于不需要太多的外部資源，也不占用任何空間，因此設備的部署非常簡單。

●由于是機械作業(yè)，因此不需要操作人員熟練，任何人都可以輕松取樣。