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高精度測量AF?微米級深度高度測量儀Z軸驅(qū)動裝置的功能

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號AFM-30

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

更新時間:2026-07-02 00:54:37瀏覽次數(shù):262次

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1.是結(jié)合了光切斷的狹縫圖像觀察和點(diǎn)光圖像的AF(自動對焦)追蹤的新型深度高度測量機(jī)。2.通過連續(xù)追蹤AF驅(qū)動,可實(shí)現(xiàn)高精度重復(fù)測量,操作性好,速度快。3。由于是一邊觀察狹縫圖像映射出的臺階形狀一邊進(jìn)行測量的方式,因此可以實(shí)時識別測量畫面上的高低,可以容易地判斷需要測量的部位。4.測定點(diǎn)處的狹縫圖像·點(diǎn)光像·電子線基準(zhǔn)線的中心全部一致的測量系統(tǒng),通過檢查偏差,可以防止用錯誤的數(shù)值進(jìn)行測量。5.光切斷的仰角除了標(biāo)準(zhǔn)的90°外,還可以根據(jù)用途選擇導(dǎo)入30°60°120°。

主要規(guī)格

観察方法

光切斷方式(利用狹縫光學(xué)系統(tǒng)測定深度高度)

■物鏡

固定倍率10倍(5倍、20倍)

軸駆動方式

基于點(diǎn)光的AF連續(xù)追蹤方式(離線時可手動測量)

投射縫隙

10um半反光鏡型

Z軸測量

Z軸數(shù)字線性儀表0.1閱讀

重復(fù)精度

~1微米以內(nèi)

使用光源

半導(dǎo)體激光器(類2)、鹵素光源

自動捕捉表示截面形狀的細(xì)狹縫光、紅色激光斑點(diǎn)、階梯差的變化,Z

軸功能迅速跟隨,進(jìn)行測定數(shù)值的數(shù)字顯示(自動聚焦)·系統(tǒng))功能

與電子線方式的基準(zhǔn)線相結(jié)合,擴(kuò)大了測量范圍,提高了利用價值,是

新型的深度高度測量機(jī)。


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