規(guī)格：

測(cè)試技術(shù)：探針輪廓技術(shù)

測(cè)試功能：二維表面輪廓測(cè)試

樣品視場(chǎng)：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器

探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）

探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg

          使用N-lite傳感器：0.03至15 mg

探針選項(xiàng)：探針曲率半徑可選范圍：50 nm至25 um;

          高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um

樣品載物臺(tái)：手動(dòng)X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉(zhuǎn)，可手動(dòng)校平；

            可選Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，100 mm行程，1um重現(xiàn)性，0.5 um分辨率；

            可選X-Y自動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)，150 mm行程；

            1um重現(xiàn)率，0.5 um 分辨率

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)： 主機(jī)使用celeron或者semprom處理器

軟件：Dektak軟件

      臺(tái)階檢測(cè)軟件

      可選應(yīng)力測(cè)量軟件

      可選三維Vision分析軟件

      可選縫合軟件

減震裝置：可選桌式震動(dòng)隔離裝置

          可選臺(tái)式震動(dòng)隔離裝置

性能

掃描長(zhǎng)度范圍 55mm（2.1英寸）

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) zui多12萬(wàn)數(shù)據(jù)點(diǎn)

zui大樣品厚度 高達(dá)90 mm （4英寸），取決于配置

zui大晶圓尺寸 150 mm（6英寸）

臺(tái)階高度重現(xiàn)性 6埃

垂直范圍：標(biāo)準(zhǔn)524um（0.02英寸）；可選1mm

垂直分辨率：zui大1A（6.55um垂直范圍下）

尺寸：292 mm *508 mm*527 mm

重量：34 kg

電源要求：

輸入電壓： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ